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SMC真空泵系統 閥 描述 ZR 系列 大型真空單元 真空泵系統 閥單元 真空用壓力開關 真空過濾器 ●對應真空發生器系統和真空泵系統 ●由于使用模塊化設計,故可自由選擇必要的功能組合 ●由于使用雙電控,故具有自我保持機能 ●可集裝 ●可選擇數字式真空開關、電磁閥等機能